Productronica 2009: Vorstellung neues Mikroskop µ-SIS von WENO

Auf der Productronica 2009 wird die WENO GmbH ihr neues Mikroskop µ-SIS, das mit dem arivis Browser als Option für die Verarbeitung von großen Bilddaten für die Kunden bereitgestellt wird, vorstellen.

Das System ist aufgrund seines flexiblen Aufbaus bei folgenden Applikationen einsetzbar:
Wafer-Fertigung, Solarzellenkontrolle, Solarmodule, Dünnschichtinspektion, Oberflächenprüfung und der Druckbildcharakterisierung.

"Das µ-S I S ermöglich es, industrielle Qualitätsprüfungen mit Aufösungen kleiner als 1µm vorzunehmen. Das AMBIS™, ein Patent der Universität Münster, realisiert die Bildaufnahme ohne den Mikroskoptisch bei der Bildaufnahme zu stoppen (Faktor 20-fache Geschwindigkeit). Mit einem vorgelagerten Kamerasystem, z.B. mit einer Zeilenkamera, werden die verdächtigen Bereiche ermittelt und dann als Koordinaten an das Mikroskop übermittelt. Das Mikroskop kann dann über ein Achssystem (Patent pending) gezielte selektive Bereiche in-inline inspizieren. Unterschiedliche Oberfächen werden dabei durch individuell entwickelte Beleuchtungskonzepte optimal ausgeleuchtet."

Mit Hilfe von Dünnschichtsensoren, die eine Bildgröße von ca. 150 MByte liefern, werden „LIFE - Aufnahmen“ gezeigt.
Als weitere Highlights werden Lösungen für PV-Prozesse anhand von Videoaufnahmen aus dem WENO – Demoraum präsentiert:

• Wafer & Solarzellen Mikroskop-Inspektion
• Berührungsloser Transport in Verbindung mit einer Zeilenkamera-Inspektion
• Zeilenkamera-Inspektion von kpl. Solarmodulen für die Warenausgangskontrolle